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3.5keV領域ワイドバンド多層膜回折格子の開発今園 孝志; 小池 雅人
no journal, ,
薄膜型太陽電池の光吸収層の物性研究において、軟X線発光分光法は、光吸収層等の埋もれた物質の化学結合状態を非破壊的に、元素選択的に励起及び評価することができる計測手法として有効である。これまでの研究において、20004000eV領域の回折効率を一様に高めることができるワイドバンドW/B
C多層膜回折格子を開発した。しかし、これを用いたとしても、CIS系太陽電池の主成分(Cu-
(0.9keV), In-(3.4keV), Se-(1.4keV))からの発光計測用途としては実用的とは言えないため、当該領域(0.93.5keV)をカバーできる新しいワイドバンドNi/C多層膜回折格子と分光器を開発した。
3.5keV領域をカバーするワイドバンドNi/C多層膜回折格子を用いた平面結像型軟X線分光計の設計今園 孝志; 小池 雅人; 倉本 智史*; 長野 哲也*; 小枝 勝*
no journal, ,
CIS薄膜太陽電池において光吸収層を構成するCu, In, SeからのL発光線(Cu: 0.9keV, In: 3.4keV, Se: 1.4keV)を計測するための平面結像型軟X線回折格子分光器を設計した。当該領域(0.93.4keV)を一定入射角でカバーするために、非周期Ni/C多層膜をラミナー型不等間隔溝回折格子に積層したワイドバンド多層膜回折格子を考案した。回折格子及び検出器の駆動機構が不要なため、全エネルギー領域を同時に高分解計測することができる。
3.5keV領域を一定入射角でカバーする広帯域Ni/C多層膜回折格子分光器の開発今園 孝志; 小池 雅人; 倉本 智史*; 長野 哲也*
no journal, ,
CIS化合物系薄膜太陽電池における光吸収層の主成分Cu, In, SeのL発光線(Cu: 0.9keV, In: 3.4keV, Se: 1.4keV)を同時に高分解計測するための平面結像型軟X線回折格子分光器を設計した。従来のエネルギー分散型X線分光器(EDS)や波長分散型分光器(WDS)では、機械的駆動機構無しに、すなわち、分光素子の入射角一定の条件下で、当該領域をカバーし、高分解能計測することは困難である。この問題を解決するため、本研究では非周期Ni/C多層膜をラミナー型不等間隔溝ホログラフィック回折格子に積層した広帯域多層膜回折格子を考案した。
今園 孝志
no journal, ,
一定の入射角で13.5keV領域をカバーする非周期Ni/C多層膜回折格子を搭載した平面結像型分光器を開発した。この多層膜は共に5.6nmの周期長を持つ2種類の二層膜から構成されている。一つは、多層膜周期長に対するNi厚の比が0.5、膜総数は79の標準的なNi/C多層膜である。最上層はCである。もう一方は、膜厚比0.8で、膜順序が逆のC/Ni二層膜である。結果的に、最上層であるNiの直下のC層は厚さ3.92nmの連続膜となる。非周期多層膜は格子定数1/2400mm、溝深さ2.8nm、デューティ比0.5のラミナ型回折格子上に積層された。その回折効率は、2.13.3keVにおいて0.85.4%を示し、多層膜を積層する前のAuコート回折格子に比べて、2.1keVで7倍、2.3keVで4470倍、3.0keVで102倍と著しく向上した。これは非周期Ni/C多層膜によってもたらされたことを示すものである。